Суждение о соответствии степени вакуума вакуумного насоса стандарту и решение распространенных проблем 

Чтобы судить о соответствии степени вакуума вакуумного насоса стандарту или нет, необходимо объединить параметры оборудования, данные измерений и всесторонний анализ состояния работы. Ниже приведены конкретные методы и шаги, которые помогут вам быстро найти проблему:

1.Основа суждения: сравните «заданную степень вакуума» и «измеренное значение».

1.1 Определите «номинальный вакуум» оборудования.

1.1.1 Проверьте руководство или заводскую табличку вакуумного насоса, чтобы убедиться в его предельном вакууме (например, пластинчато-роторный насос обычно составляет 1~10 Па, а насос Рутса может быть на 10-³Па ниже).

1.2 Используйте вакуумметр для измерения текущей степени вакуума.

1.2.1 Часто используемые типы манометров:

1.2.1.1 Стрелочный вакуумметр: подходит для низкого вакуума (100000~100Па), с низкой точностью, интуитивно понятный и легко читаемый;

1.2.1.2 Цифровой вакуумметр: такие как термопарный вакуумметр (подходит для 100~10-¹Pa), вакуумметр Пирани (100~10-³Pa), ионизационный вакуумметр (высоковакуумный сценарий), с высокой точностью, который должен быть выбран в соответствии с диапазоном степени вакуума;

1.3.3 Место измерения: старайтесь устанавливать манометр на основной трубе рядом с входом воздуха в вакуумный насос или вакуумную камеру, чтобы избежать ошибки, вызванной измерением на большом расстоянии.

2.Основные шаги: 4 шага для проверки соответствия степени вакуума стандарту

2.1 Наблюдение «достигает ли степень вакуума стабильно целевого значения»

2.1.1 Метод работы:

Запустите вакуумный насос, дождитесь стабилизации работы (обычно это занимает 5~10 минут), проверьте, не падают ли показания вакуумметра и достигли ли они стабильного состояния;

Сравните показания после стабилизации с целевой степенью вакуума, требуемой оборудованием (например, ниже 1000 Па для вакуумной упаковки, 10-³Па для покрытия полупроводников).

2.2. аномальные сигналы: Если показания продолжают колебаться или не достигают целевого значения, возможно, имеет место утечка, неисправность корпуса насоса или проблемы с настройкой параметров.

2.3. Обнаружение «Есть ли утечка в системе».

2.3.1 Простой метод обнаружения: метод мыльного пузыря

2.3.1.1 Нанесите мыльный раствор на интерфейс трубопровода, клапаны, соединения камеры, если появляются пузырьки, это указывает на то, что здесь есть утечка воздуха, необходимо подтянуть или заменить уплотнение.

2.3.2 Профессиональный метод обнаружения: гелиевый масс-спектрометрический течеискатель

2.3.2.1 Для высоковакуумных систем (например, полупроводникового оборудования) гелий может быть распылен в предполагаемое место утечки, если показания течеискателя внезапно повышаются, это означает, что здесь есть утечка.

2.4 Оценка «нормальна ли скорость откачки»

2.4.1 Сравните стандартное время откачки:

2.4.2 Простой метод оценки:

2.4.2.1 С помощью секундомера засеките время от запуска до достижения заданного уровня вакуума. Если оно значительно превышает обычное (например, если обычно требуется 2 минуты, то теперь - 5 минут), возможно, насос загрязнен маслом, лопасти изношены или заблокирован вход воздуха.

4.проверка «самого вакуумного насоса на наличие неисправностей»

4.1 Насосы с масляной смазкой (например, пластинчато-роторные насосы):

4.1.1 Обратите внимание, не почернело ли масло насоса и не эмульгировано ли оно (нормальное масло должно быть прозрачным и светло-желтым), если качество масла ухудшилось, необходимо немедленно заменить масло, иначе это повлияет на герметичность и степень вакуума;

4.1.2 Прислушайтесь, нет ли ненормального шума (например, звука трения металла) во время работы насоса, это может быть износ лопастей или повреждение подшипника.

4.2 Безмасляные насосы (например, винтовые насосы)

4.2.1 Проверьте зазор в роторе на предмет скопления пыли и окалины, если ротор заклинило или зазор стал большим, это приведет к снижению эффективности перекачки.

3.В-третьих, общая степень вакуума не соответствует стандартным причинам и решениям