Проектируя вакуумную систему, необходимо знать несколько моментов! 

Вакуумная система - это комбинация вакуумных насосов, вакуумметров и различных деталей, соединенных соответствующим образом с помощью трубопроводов и образующих устройство, которое может достичь определенного вакуума. Какие основные требования предъявляются к вакуумной системе?

1 Получение требуемого предельного вакуума и рабочего вакуума в откачиваемом устройстве или рабочей камере.

Предельный вакуум относится к устройству без утечек и газовыделения при достижении степени вакуума, рабочий вакуум относится к устройству, в котором вакуумная обработка может поддерживать степень вакуума. Рабочий вакуум - это вакуум, который может поддерживаться, когда устройство подвергается вакуумной обработке. При вакуумной обработке часто выделяется большое количество газа, и рабочий вакуум в это время будет значительно ниже, чем предельный вакуум. Предельный вакуум и рабочий вакуум имеют свое собственное значение, они находятся по разные стороны влияния на качество устройства. Например, в вакуумной системе для устройства с оксидным катодом дегазация электрода и катодный распад приводят к большому количеству выходящих газов, и если рабочий вакуум плох, то в результате может произойти окисление электрода и плохая катодная активация. Однако, когда устройство окончательно загерметизировано, утечки и газовыделения практически отсутствуют, а уровень вакуума в устройстве зависит от предельного уровня вакуума выхлопной вакуумной системы.

2 Время, необходимое для достижения определенного уровня рабочего вакуума

Это время определяется скоростью откачки вакуумной системы. Это время определяется скоростью откачки вакуумной системы. Увеличение скорости откачки уменьшает это время. Очевидно, что для большой студии требуется высокая скорость откачки. Иногда студия невелика, но из-за серьезной утечки воздуха вакуумная система также нуждается в большой скорости откачки, иначе большое количество утечек воздуха значительно снизит степень вакуума, так что система не сможет работать.

3 в откачиваемом устройстве или рабочей камере есть подходящий состав остаточного газа

Практика доказала, что чисто для улучшения и обеспечения предельного вакуума и рабочего вакуума недостаточно, но также должны быть определенные требования к составу остаточного газа. Например, в устройстве вакуумной камеры, для того чтобы сохранить чувствительность в течение годичного срока службы не больше, чем при уменьшении совпадений, остаточный газ остаточного содержания кислорода в устройстве не должен быть выше 10-2Pa высоковольтной вакуумной коммутационной трубки, не должен содержать углеводородных молекул и так далее. Состав остаточного газа в вакуумной системе, например, при отсутствии других источников газа в системе, в основном зависит от характеристик насоса.

4 Вакуумная система также должна быть простой структуры, надежной работы, простой эксплуатации и обслуживания, недорогой и т.д.

Для удовлетворения этих требований, он должен быть от выбора насосов, определение размера трубы и расположение, процесс сборки и другие аспекты всестороннего рассмотрения. Эти основные требования часто взаимосвязаны. Например, из-за вакуумной системы всегда неизбежно явление микроутечки, поэтому использование скорости откачки, чем скорость откачки насоса может получить лучший рабочий вакуум, но большой насос является дорогостоящим, потребление воды, потребление энергии, так что есть разумный выбор проблемы. Приборы и небольшие вакуумные системы должны быть выбраны микро вакуумный насос, низкая стоимость, высокая эффективность, низкий уровень шума, некоторые пользователи выбирают большую скорость потока промышленного вакуумного насоса не подходит.

5 Требования к автоматизации

С развитием компьютерных технологий, требования пользователей к автоматизации вакуумных систем также растут. Для вакуумной системы автоматическое управление в основном заключается в регулировке расхода вакуумного насоса и степени вакуума. Степень вакуума часто регулируется путем настройки потока вакуумного насоса, установки дроссельных клапанов и клапанов сброса давления. При дросселировании потери энергии велики, создается дополнительный шум, поэтому лучше всего напрямую регулировать скорость вакуумного насоса. Существуют различные методы регулирования скорости промышленного вакуумного насоса, которые в основном делятся на две категории: первая категория заключается в том, что скорость двигателя остается неизменной, а скорость вакуумного насоса изменяется с помощью дополнительных устройств, таких как регулирование скорости редуктора, а вторая категория заключается в изменении скорости двигателя напрямую, например, тиристорная серия регулирования скорости, частотное преобразование скорости и так далее. В настоящее время в промышленных вакуумных насосах широко используется частотное регулирование скорости, которое имеет хороший энергосберегающий эффект, может реализовать бесступенчатое регулирование скорости, большой коэффициент регулирования скорости, точное регулирование скорости и плавную скорость.

Для миниатюрных вакуумных насосов, применяемых в небольших вакуумных системах, в прошлом в основном использовалась регулировка скорости при пониженном давлении, и дополнительное преимущество работы при пониженном давлении способствует продлению срока службы насоса и двигателя. Если нагрузка насоса велика, легко вызвать невозможность запуска двигателя после снижения напряжения, так что температура двигателя повышается, что приводит к потенциальной угрозе безопасности. В настоящее время самые передовые отечественные миниатюрные вакуумные насосы с контролем скорости «воздушного моря» оснащены импортным двигателем постоянного тока, с линией ШИМ (широтно-импульсной модуляции), могут легко и надежно регулировать скорость потока, могут выводить сигнал обратной связи скорости двигателя (FG), в режиме реального времени контролировать условия работы двигателя, более удобны для автоматического управления. Кроме того, он обладает совершенной функцией самозащиты и может автоматически отключаться в случае заклинивания насоса, перегрева и других непредвиденных ситуаций. Миниатюрный вакуумный насос с регулировкой скорости идеально подходит для автоматизации небольших вакуумных систем.

Как правило, для вакуумных систем с хорошей герметичностью, при отсутствии регулярного газовыделения и внутреннего источника паров, можно использовать меньший насос с лучшим предельным вакуумом. Однако если система имеет больше утечек и газовыделений, то для обеспечения рабочего вакуума необходимо использовать метод увеличения скорости откачки, для чего следует использовать насос с большей скоростью откачки, а также максимально увеличить проводимость потока в трубопроводе, т.е. выбрать короткий и толстый трубопровод.