Компания представила серию вакуумных насосов iXM с низким энергопотреблением, переопределяя стандарты энергоэффективности в полупроводниковых процессах
2025-04-16
Дата выпуска: 24 апреля 2025 года
Источник: Официальный сайт Hezhe Vacuum
Основное содержание: Компания представила серию сухих вакуумных насосов iXM, предназначенных для процессов травления и химического парового осаждения (CVD) в полупроводниковой промышленности. Используя многоступенчатую конструкцию роторов Рутса, насосы сокращают энергопотребление до 1,4 кВт, что на 60% ниже по сравнению с предыдущими моделями. Эта серия оснащена азотной воздушной завесой и улучшенным теплоотведением, что увеличивает устойчивость к коррозии в 4 раза, а также значительно улучшает способность обработки порошков, что позволяет продлить срок службы насоса в многоступенчатых процессах травления. Насосы серии iXM уже прошли валидацию на таких ведущих заводах, как TSMC и Samsung, и ожидается, что в 2025 году будет выполнено более 300 заказов.
Технические особенности: Встроенный интеллектуальный модуль управления с переменной частотой позволяет динамически регулировать скорость откачки в зависимости от требований процесса, а в энергосберегающем режиме дополнительно снижает стоимость азотного продувочного газа, что делает его совместимым с высококлассными оборудованием, таким как EUV-литографические машины.
