Исследование технологии обработки поверхности и характеристик вентиляции в вакуумной полости 

1. Механическая полировка
Выравнивание поверхности достигается за счет физического срезания шлифовальных частиц. Несмотря на то, что шероховатость может быть уменьшена, легко возникает технологическая нагрузка и остатки загрязнений.；

2. Электрополировка
Используя принцип электрохимического растворения, материал равномерно удаляется на микроскопическом уровне, что позволяет получить гладкую зеркальную поверхность, значительно уменьшая дефекты поверхности и места адсорбции.；

3. Химическая полировка
Основанный на селективной коррозии химических реагентов, он позволяет быстро обрабатывать заготовки сложной формы, но возникают проблемы с контролем состава раствора.
Исследования показали, что скорость удаления воздуха из полости после электролитической полировки на 30-50% ниже, чем при механической полировке.Оптимизация параметров процесса пассивации требует всестороннего учета температуры, времени и концентрации раствора.Если взять пассивацию азотной кислотой в качестве примера, то, хотя повышение температуры может ускорить образование пассивирующей пленки, слишком высокая температура приведет к расслаиванию пленки; увеличение времени обработки может привести к увеличению толщины пленки, но существует порог насыщения; необходимо точно регулировать концентрацию раствора, а также степень насыщения. пассивация при слишком низкой концентрации является неполной, а при слишком высокой может привести к чрезмерной коррозии.
Благодаря проверке ортогональных испытаний, сочетание параметров, обработанных при температуре 80℃ в течение 15 минут, и концентрации азотной кислоты 15% позволяет получить плотную и стабильную пассивирующую пленку, а скорость дефляции снижается на 25%.Высокотемпературная выпечка оказывает значительное влияние на десорбцию водорода. В диапазоне 200-500 ℃ скорость десорбции водорода экспоненциально возрастает с повышением температуры.
Исследование показало, что после выпекания при температуре 350℃ в течение 4 часов остаточное количество водорода в полости может быть уменьшено на 80%.Технологии нанесения поверхностных покрытий, такие как покрытия TiN и TiZrV, широко используются в области сверхвысокого вакуума из-за их низкой скорости удаления и высокой химической стабильности.Обладая высокой твердостью и износостойкостью, покрытие TiN может эффективно защищать поверхность полости; покрытие TiZrV выполняет функцию всасывания и может активно поглощать остаточный газ, увеличивая степень разрежения на 1-2 порядка.