Вакуумный насос
2025-06-18
Вакуумный насос-это оборудование для перекачки газа и получения вакуумной среды, широко используется в промышленности, научных исследованиях и других областях.Вот некоторые из простых знаний о вакуумных насосах, которые вы узнаете с точки зрения типа, принципа работы, элементов выбора и т. д.:
一. Основные виды вакуумных насосов и принцип их работы
1. Классификация по принципу работы
1.1Насос для передачи газа: передача газа из всасывающего отверстия в выхлопное отверстие осуществляется механическим движением или газодинамическим принципом.
1.2Спиральные вакуумные насосы: периодически изменяя объем полости для всасывания и выпуска воздуха с помощью вращения спирта в полости насоса, часто используются в лабораториях или небольших вакуумных системах.
1.3Винтовой вакуумный насос: с помощью двух винтов вращаются между собой, образуя герметичное пространство и приводя к выбросу газа, подходит для высокого вакуума и чистой окружающей среды.
1.4Турбомолекулярный насос: импульсный импульс к молекулам газа с помощью вращающихся лопастей турбин, что приводит к вытягиванию газа в направлении движения с высоким уровнем вакуума (например, 10 ±Па), часто используется в высокоточных областях, таких как производство полупроводников.
1.5Газозахватный насос: улавливание молекул газа путем адсорбции, конденсации и т. д.
1.6Адсорбционный насос: адсорбент активированного угля, молекулярного сита и других адсорбентов, часто используется для предварительной обработки или вспомогательного отвода газа.
1.7Низкотемпературный насос: конденсирует газ на мании масла при очень низких температурах (например, охлаждение жидкого гелия), что приводит к образованию сверхвысокого вакуума для сценариев, требующих высоких требований к вакууму.
2. Классификация по сценам применения
2.1Низкие вакуумные насосы: предельный уровень вакуума обычно составляет 10÷10² Па для вакуумной упаковки, вакуумных присосок и т. д.
2.2Насосы среднего вакуума: предельный уровень вакуума 10 м²- 10 ±3 Па, подходит для вакуумной дистилляции, вакуумной сушки и т. д.
2.3Насосы с высоким вакуумом: предельный уровень вакуума составляет 10±-10±Pa, обычно используется при производстве электронных покрытий, вакуумной плавки и т. д.
2.4Сверхвысокий вакуумный насос: предел вакуума ниже 10 °Па для изготовления полупроводниковых приборов, моделирования пространства и т. д.
二. Ключевые моменты выбора вакуумного насоса
1.Требования к вакуумному вакууму: Определите необходимый предельный и рабочий вакуум в соответствии с требованиями процесса, чтобы избежать слишком большого или слишком низкого выбора (например, обычный вакуумный насос для сушки, молекулярный насос для нанесения покрытия полупроводникового покрытия + сочетание насосов для предварительного класса).
2.Скорость откачки: объем откачки газа насосом за единицу времени, который должен соответствовать газовой нагрузке системы (например, при большом объеме реакционной камеры и быстром выпуске газа, следует выбрать насос с большой скоростью).
3.Свойства газа:
3.1Коррозионные газы: необходимо выбрать насос из коррозионно-стойких материалов (например, из нержавеющей стали) или в сочетании с газоочистным устройством.
3.2Содержит пыль или частицы: необходимо установить фильтр для предотвращения износа полостей насоса (например, винтовой насос может выдерживать небольшое количество частиц).
3.3Пар конденсируемого: выбрать насос, способный обрабатывать пар (например, масляный вращающийся насос должен быть оснащен клапаном для предотвращения эмульсии масла).
4.Расходы на монтаж и техническое обслуживание: турбомолекулярные насосы являются дорогостоящими, но эффективными, роторные насосы недорогостоящими, но требуют регулярной замены масла, а также комплексного бюджета и частоты использования.
